产品概述
SC400热蒸发镀碳仪是一款采用碳绳热蒸发技术的桌面级镀碳设备,专为扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析(EDS)样品的导电膜制备而设计。设备采用W型蒸发源结构,碳绳利用率高,一次可安装4组碳绳,开机自动检测碳绳状态并实时更新通断状态。配备7英寸彩色触摸屏,支持一键式全自动操作,从抽真空到蒸发镀碳、破真空全过程自动完成。
设备提供闪断式和脉冲式两种蒸发模式:闪断加热模式镀膜效率高,可快速镀制较厚碳膜;脉冲加热模式便于精确控制碳膜厚度并减少对样品的热损伤。碳绳用量可自定义,样品台旋转模式可自定义,适用于能谱分析、清洁度分析、矿物分析等多种领域的样品导电化处理。
核心优势
· 一键操作,全自动镀碳:参数设置后点击"一键镀膜",设备自动完成抽真空、启动镀膜、破真空等全部操作
· 7英寸彩色触摸屏:工作参数实时查看,设置及操作界面简洁易用
· 双蒸发模式:闪断式(快速镀厚膜)和脉冲式(精确控厚、低热损伤)两种模式可选
· W型蒸发源结构:碳绳利用率高,一次可安装4组碳绳
· 碳绳智能检测:开机自动检测碳绳状态并在主页显示,使用过程中实时更新碳绳通断状态
· 碳绳用量自定义:可根据需求设定蒸发源使用数量或脉冲数量
· 样品台旋转模式自定义:适配不同样品的镀膜均匀性需求
· 标配旋转样品台:可插入14个SEM标准样品台,支持批量制样
技术参数
|
镀膜功能 |
|
|
蒸发模式 |
闪断式或脉冲式: |
|
蒸发源 |
一次可安装4组碳绳,开机自动检测碳绳状态并在主页显示,使用过程中实时更新碳绳通断状态 |
|
工作启动压强 |
0.5-10Pa,连续可调,步长0.1Pa,可随时调整并实时生效 |
|
破真空气体 |
氩气、氮气或空气,减压阀输入压力:1~3大气压 |
|
破真空接口 |
4mm快插接口 |
|
真空系统 |
|
|
真空泵 |
旋片式真空泵(外置,可选无油干泵) |
|
抽速 |
1.1L/s(4m³/h) |
|
极限真空度 |
≤0.5Pa |
|
样品仓 |
|
|
材质 |
高强度玻璃 |
|
尺寸 |
φ130×100mm |
|
样品台 |
|
|
样品台直径 |
80mm,可插入14个SEM标准样品台 |
|
支持升降、旋转 |
转速可调 |
|
可选配倾斜功能 |
倾斜角度:0°~40° |
|
电气参数及环境要求 |
|
|
电压 |
220V, 50Hz |
|
功率 |
≤500W |
|
工作温度 |
15-30℃ |
|
存储温度 |
5-40℃ |
|
环境湿度 |
≤80%(建议≤50%) |
应用领域
· 扫描电子显微镜(SEM)非导电样品的碳导电膜制备
· 能谱分析(EDS/EDX)样品的导电化处理
· 清洁度分析、矿物分析、法医样品的镀膜制备
· 透射电子显微镜(TEM)碳支持膜的制备
· 材料科学、地质、冶金等领域的样品表面碳膜镀制
操作控制
· 7英寸彩色触摸屏控制,设置及操作界面简洁易用
· 一键式操作、全自动控制,参数设置完毕后点击"一键镀膜",设备自动完成抽真空、启动镀膜、破真空等全部操作
· 实时显示碳绳使用数量、设备使用时间,实时显示工作电流、工作电压和真空度
