SC400热蒸发镀碳仪

SC400热蒸发镀碳仪是一款采用碳绳热蒸发技术的桌面级镀碳设备,专为扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析(EDS)样品的导电膜制备而设计。设备采用W型蒸发源结构,碳绳利用率高,一次可安装4组碳绳,开机自动检测碳绳状态并实时更新通断状态。配备7英寸彩色触摸屏,支持一键式全自动操作,从抽真空到蒸发镀碳、破真空全过程自动完成。

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产品概述

SC400热蒸发镀碳仪是一款采用碳绳热蒸发技术的桌面级镀碳设备,专为扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析(EDS)样品的导电膜制备而设计。设备采用W型蒸发源结构,碳绳利用率高,一次可安装4组碳绳,开机自动检测碳绳状态并实时更新通断状态。配备7英寸彩色触摸屏,支持一键式全自动操作,从抽真空到蒸发镀碳、破真空全过程自动完成。

设备提供闪断式和脉冲式两种蒸发模式:闪断加热模式镀膜效率高,可快速镀制较厚碳膜;脉冲加热模式便于精确控制碳膜厚度并减少对样品的热损伤。碳绳用量可自定义,样品台旋转模式可自定义,适用于能谱分析、清洁度分析、矿物分析等多种领域的样品导电化处理。

核心优势

·         一键操作,全自动镀碳:参数设置后点击"一键镀膜",设备自动完成抽真空、启动镀膜、破真空等全部操作

·         7英寸彩色触摸屏:工作参数实时查看,设置及操作界面简洁易用

·         双蒸发模式:闪断式(快速镀厚膜)和脉冲式(精确控厚、低热损伤)两种模式可选

·         W型蒸发源结构:碳绳利用率高,一次可安装4组碳绳

·         碳绳智能检测:开机自动检测碳绳状态并在主页显示,使用过程中实时更新碳绳通断状态

·         碳绳用量自定义:可根据需求设定蒸发源使用数量或脉冲数量

·         样品台旋转模式自定义:适配不同样品的镀膜均匀性需求

·         标配旋转样品台:可插入14SEM标准样品台,支持批量制样

技术参数

镀膜功能

蒸发模式

闪断式或脉冲式:
闪断加热模式:可设定蒸发源使用数量,镀膜效率较高,可快速镀较厚的碳膜
脉冲加热模式:可设定蒸发脉冲数量,便于精确控制碳膜厚度和减少对样品的热损伤

蒸发源

一次可安装4组碳绳,开机自动检测碳绳状态并在主页显示,使用过程中实时更新碳绳通断状态

工作启动压强

0.5-10Pa,连续可调,步长0.1Pa,可随时调整并实时生效

破真空气体

氩气、氮气或空气,减压阀输入压力:1~3大气压

破真空接口

4mm快插接口

真空系统

真空泵

旋片式真空泵(外置,可选无油干泵)

抽速

1.1L/s(4m³/h)

极限真空度

≤0.5Pa

样品仓

材质

高强度玻璃

尺寸

φ130×100mm

样品台

样品台直径

80mm,可插入14SEM标准样品台

支持升降、旋转

转速可调

可选配倾斜功能

倾斜角度:0°~40°

电气参数及环境要求

电压

220V, 50Hz

功率

≤500W

工作温度

15-30℃

存储温度

5-40℃

环境湿度

≤80%(建议≤50%)

 

应用领域

·         扫描电子显微镜(SEM)非导电样品的碳导电膜制备

·         能谱分析(EDS/EDX)样品的导电化处理

·         清洁度分析、矿物分析、法医样品的镀膜制备

·         透射电子显微镜(TEM)碳支持膜的制备

·         材料科学、地质、冶金等领域的样品表面碳膜镀制

操作控制

·         7英寸彩色触摸屏控制,设置及操作界面简洁易用

·         一键式操作、全自动控制,参数设置完毕后点击"一键镀膜",设备自动完成抽真空、启动镀膜、破真空等全部操作

·         实时显示碳绳使用数量、设备使用时间,实时显示工作电流、工作电压和真空度

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